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  • 单温区滑杆式PECVD系统 查看详细介绍

    单温区滑杆式PECVD系统由滑竿式真空管式炉、石英真空室、射频电源、供气系统、抽气系统、真空测量系统组成。单温区滑竿式PECVD系统相对于CVD系统增加了等离子发生器

    更新时间:2022-12-05

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