VS系列真空控制系统

LVSE-0.1低真空控制系统

产品应用：

该系统为一组低真空机组设备，控制设备真空度小于1Pa一下；配合真空管式炉、箱式气氛炉等真空设备使用

设备组成：

设备由真空法兰、高真空挡板阀、电阻真空计、真空波纹管、支架、真空泵组成

技术参数：

1. 真空泵：FX-16
2. 真空泵抽气速度：16m³/h（4L/s）
3. 真空泵极限压强：（Pa）≤4*10^-2
4. 高真空挡板阀：KF25不锈钢高真空挡板阀
5. 真空波纹管：KF25*1000mm
6. 真空计VRD-I:规管型号ZJ-53B/ZJ-54D短丝热偶规
7. 电源功率：220v/50Hz；0.8kw
8. 出气进气口规格：KF25
9. 连接口：2个KF25接口

LVSE-0.1A可调低真空控制系统

产品应用：

   该系统为一组低真空恒压机组设备，控制设备真空压力恒定在1.0KPa—100.0KPa之间；配合真空管式炉、箱式气氛炉等真空设备使用

设备组成：

   设备由真空法兰、高真空挡板阀、电阻真空计、真空波纹管、支架、真空泵、变速器、电动调节阀门等组成；

技术参数：

1. 真空泵：FX-16
2. 真空泵抽气速度：16m³/h（4L/s）
3. 真空泵极限压强：（Pa）≤4*10^-2
4. 高真空挡板阀：KF25不锈钢高真空挡板阀
5. 真空波纹管：KF25*1000mm
6. 真空计：VRD-I:
7. 规管型号ZJ-53B/ZJ-54D短丝热偶规
8. 电源功率：220v/50Hz；0.8kw
9. 调速变频器：0.75kw
10. 压强控制范围：1.0KPa—100KPa
11. 压强控制精度：±1KPa
12. 出气进气口规格：KF25
13. 连接口：2个KF25接口

HVSE高真空控制系统

产品应用：

   该系统为一组复合分子泵、前级抽气泵机组设备，控制设备真空度小于8*10^-4Pa；配合真空管式炉、箱式真空气氛炉等高真空设备使用；广泛应用于表面分析、半导体设备、等离子体技术、电真空器件的制造及真空技术研究

设备组成：

设备由复合分子泵、前级抽气泵、隔断放气阀、前级管路、分子泵电源、高真空检测系统（复合真空计）、控制电源组成

产品特点：

预抽气旁路设计，前级抽气不经过分子泵避免预抽气体中颗粒进入分子泵

技术参数：

前级真空泵：TRP-24           

真空泵抽气速度：4L/s

分子泵：FJ-620               

抽气速率：600L/s

分子泵极限压强：6*10-6Pa       

建议启动压强：＜100Pa

排气口法兰：KF40             

 进气口法兰：DN160LF

波纹管：KF40*1000mm           

复合真空计：ZDF-III

真空电磁挡板阀：KF40          

真空腔体真空度：＜8*10-4Pa

工作电压：220v/50Hz